Siirry pääsisältöön
Sivupaneeli
Etusivu
Koulut
Insinööritieteiden korkeakoulu (ENG)
Kauppakorkeakoulu (BIZ)
Kemian tekniikan korkeakoulu (CHEM)
Perustieteiden korkeakoulu (SCI)
Sähkötekniikan korkeakoulu (ELEC)
Taiteiden ja suunnittelun korkeakoulu (ARTS)
Kielikeskus
Avoin yliopisto
Kirjasto
Aalto-yliopiston pedagoginen koulutus
UNI (tentit)
Sandbox
Kurssipalaute
Palvelulinkit
ALLWELL?
-Opiskelutaidot
-Opiskelijan ohjaus ja tuki
-Starting Point of Wellbeing
-AllWell?-opiskeluhyvinvointikyselystä
MyCourses
- MyCourses ohjeita opettajille
- MyCourses ohjeita opiskelijoille
- Varaa online aika digitaalisen opetuksen asiantuntijalta (opetttajille)
- Opetuksen digitaaliset työvälineet
- Opetuksen tietosuojaa opettajille
- Työtila opinnäyteohjaukseen
- Kurssipalautetyökalun ohjeeseen
Sisu
Opiskelijan opas
Courses.aalto.fi
Metacampus
- Lisätietoja Metacampus oppimisympäristöstä sekä Unite! yhteistyöstä
Kirjasto- ja tietopalvelut
- Tiedonhakijan oppaat
- Imagoa / Avoin tiede ja kuvien käyttö
Tietotekniikkapalvelut
Kampuskartat
- Etsi tiloja ja tarkista rakennusten aukioloajat
Lounaat Otaniemi
AYY Aalto-yliopiston ylioppilaskunta
Aallon yhteisötori
Intelliboard
Oppijan raportit
Opettajan raportit
IntelliBoard system raport (admin only)
Lisää
Hae sisältöjä kursseiltasi
Sulje
Hae sisältöjä kursseiltasi
Course search
Close
Hae sisältöjä kursseiltasi
Etsi kursseja myös:
Sisu
tai
Courses.aalto.fi
Vaihda hakusyöttöä
fi
en
fi
sv
Käytät vierailijatunnusta
Kirjaudu
Etusivu
Koulut
Sulje
Laajenna
Insinööritieteiden korkeakoulu (ENG)
Kauppakorkeakoulu (BIZ)
Kemian tekniikan korkeakoulu (CHEM)
Perustieteiden korkeakoulu (SCI)
Sähkötekniikan korkeakoulu (ELEC)
Taiteiden ja suunnittelun korkeakoulu (ARTS)
Kielikeskus
Avoin yliopisto
Kirjasto
Aalto-yliopiston pedagoginen koulutus
UNI (tentit)
Sandbox
Kurssipalaute
Palvelulinkit
Sulje
Laajenna
ALLWELL?
-Opiskelutaidot
-Opiskelijan ohjaus ja tuki
-Starting Point of Wellbeing
-AllWell?-opiskeluhyvinvointikyselystä
MyCourses
- MyCourses ohjeita opettajille
- MyCourses ohjeita opiskelijoille
- Varaa online aika digitaalisen opetuksen asiantuntijalta (opetttajille)
- Opetuksen digitaaliset työvälineet
- Opetuksen tietosuojaa opettajille
- Työtila opinnäyteohjaukseen
- Kurssipalautetyökalun ohjeeseen
Sisu
Opiskelijan opas
Courses.aalto.fi
Metacampus
- Lisätietoja Metacampus oppimisympäristöstä sekä Unite! yhteistyöstä
Kirjasto- ja tietopalvelut
- Tiedonhakijan oppaat
- Imagoa / Avoin tiede ja kuvien käyttö
Tietotekniikkapalvelut
Kampuskartat
- Etsi tiloja ja tarkista rakennusten aukioloajat
Lounaat Otaniemi
AYY Aalto-yliopiston ylioppilaskunta
Aallon yhteisötori
Intelliboard
Sulje
Laajenna
Oppijan raportit
Opettajan raportit
IntelliBoard system raport (admin only)
Avaa kurssisisältö
Avaa lohkot
CHEM-E5115 - Microfabrication, 26.02.2019-15.05.2019
Kurssiasetusten perusteella kurssi on päättynyt 15.05.2019
Etsi kursseja: CHEM-E5115
Kurssiesite
Etusivu
Kurssit
kemian ...
kemian ...
chem-e5...
Osiot
materia...
Kurssi
Kurssipalaute
Lisää
Osion kuvaus
Materiaalit
General info
Tiedosto
Pdf-tiedosto
Updated schedule
Tiedosto
Pdf-tiedosto
Lecture and exercise schedule
Tiedosto
Pdf-tiedosto
Lecture 1: Introduction
Tiedosto
Powerpoint-esitys
Lecture 2: lithography and etching
Tiedosto
Powerpoint-esitys
Lecture 3: silicon
Tiedosto
Pdf-tiedosto
Lecture 4: thin films
Tiedosto
Powerpoint-esitys
Lecture 5: cleaning and cleanroom
Tiedosto
Pdf-tiedosto
Spot exercise 1 solutions
Tiedosto
Powerpoint 2007 -esitys
Lecture 6: oxidation
Tiedosto
Pdf-tiedosto
Lecture 7: lab demo process flow
Tiedosto
Powerpoint 2007 -esitys
Lecture 8: doping and epitaxy
Tiedosto
Pdf-tiedosto
Lecture 9: bonding and CMP
Tiedosto
Pdf-tiedosto
Lecture 10: integration
Tiedosto
Pdf-tiedosto
Lecture 11: CMOS
Tiedosto
Pdf-tiedosto
Lectuer 12: MEMS 1
Tiedosto
Powerpoint-esitys
Lecture 13 Surface MEMS
Tiedosto
Powerpoint-esitys
Lecture 14: Bulk and SOI MEMS
Tiedosto
Powerpoint-esitys
Lecture 15: yeild and economics
Tiedosto
Powerpoint-esitys
Lecture 16: Scaling
Tiedosto
Powerpoint 2007 -esitys
Lecture 17: nano-CMOS and Moore
Tiedosto
Pdf-tiedosto
Old exam for you to see
Tiedosto
Pdf-tiedosto
Old exam too
Tiedosto
Pdf-tiedosto
Next section
►
Tehtävät