Gå direkt till huvudinnehåll
Sidopanel
Moodle
Högskolor
Handelshögskolan (BIZ)
Högskolan för elektroteknik (ELEC)
Högskolan för ingenjörsvetenskaper (ENG)
Högskolan för kemiteknik (CHEM)
Högskolan för konst, design och arkitektur (ARTS)
Högskolan för teknikvetenskaper (SCI)
Andra studier
Språkcentret
Open University
Biblioteket
Aalto university pedagogical training programme
UNI (exams)
Sandbox
Kursrespons
Länkar till tjänster
ALLWELL?
- Studiekompetens
- Vägledning och stöd för studerande
- Starting Point of Wellbeing
- Om AllWell? -enkäten
MyCourses
- MyCourses instructions for Teachers
- Anvisningar för studerande
- Teacher book your online session with a specialist
- Digital tools for teaching
- Data protection instructions for teachers
- Workspace for thesis supervision
Sisu
Studentguide
Courses.aalto.fi
Metacampus
- About Metacampus learning environment and Unite! alliance
Unverisitets bibliotek
- Resourcesguides
- Imagoa / Öppen vetenskap och användning av bilder
IT-tjänster
Campus
- Byggnads öppettider
Restaurants in Otaniemi
AUS Aalto-universitetets studentkår
Aalto Marketplace
Intelliboard
Student raport
Lärare raportit
IntelliBoard system raport (admin only)
Mer
Sök
Stäng
Sök
Course search
Close
Sök
Search courses also:
Sisu
or
Courses.aalto.fi
Växla sökinmatning
sv
en
fi
sv
Du är för tillfället inloggad som gästanvändare
Logga in
Moodle
Högskolor
Fäll ihop
Expandera
Handelshögskolan (BIZ)
Högskolan för elektroteknik (ELEC)
Högskolan för ingenjörsvetenskaper (ENG)
Högskolan för kemiteknik (CHEM)
Högskolan för konst, design och arkitektur (ARTS)
Högskolan för teknikvetenskaper (SCI)
Andra studier
Språkcentret
Open University
Biblioteket
Aalto university pedagogical training programme
UNI (exams)
Sandbox
Kursrespons
Länkar till tjänster
Fäll ihop
Expandera
ALLWELL?
- Studiekompetens
- Vägledning och stöd för studerande
- Starting Point of Wellbeing
- Om AllWell? -enkäten
MyCourses
- MyCourses instructions for Teachers
- Anvisningar för studerande
- Teacher book your online session with a specialist
- Digital tools for teaching
- Data protection instructions for teachers
- Workspace for thesis supervision
Sisu
Studentguide
Courses.aalto.fi
Metacampus
- About Metacampus learning environment and Unite! alliance
Unverisitets bibliotek
- Resourcesguides
- Imagoa / Öppen vetenskap och användning av bilder
IT-tjänster
Campus
- Byggnads öppettider
Restaurants in Otaniemi
AUS Aalto-universitetets studentkår
Aalto Marketplace
Intelliboard
Fäll ihop
Expandera
Student raport
Lärare raportit
IntelliBoard system raport (admin only)
Öppna kurskatalog
Öppna blockmeny
CHEM-E5115 - Microfabrication, 26.02.2019-15.05.2019
This course space end date is set to 15.05.2019
Search Courses: CHEM-E5115
Kursens beskrivning
Moodle
Kurser
högsko...
institu...
chem-e5...
Sektioner
Material
Kurs
Kursrespons
Mer
Översikt
Material
General info
Fil
PDF-dokument
Updated schedule
Fil
PDF-dokument
Lecture and exercise schedule
Fil
PDF-dokument
Lecture 1: Introduction
Fil
PowerPoint-presentation
Lecture 2: lithography and etching
Fil
PowerPoint-presentation
Lecture 3: silicon
Fil
PDF-dokument
Lecture 4: thin films
PowerPoint-presentation
Lecture 5: cleaning and cleanroom
Fil
PDF-dokument
Spot exercise 1 solutions
Fil
PowerPoint 2007-presentation
Lecture 6: oxidation
Fil
PDF-dokument
Lecture 7: lab demo process flow
Fil
PowerPoint 2007-presentation
Lecture 8: doping and epitaxy
Fil
PDF-dokument
Lecture 9: bonding and CMP
Fil
PDF-dokument
Lecture 10: integration
Fil
PDF-dokument
Lecture 11: CMOS
Fil
PDF-dokument
Lectuer 12: MEMS 1
Fil
PowerPoint-presentation
Lecture 13 Surface MEMS
Fil
PowerPoint-presentation
Lecture 14: Bulk and SOI MEMS
Fil
PowerPoint-presentation
Lecture 15: yeild and economics
Fil
PowerPoint-presentation
Lecture 16: Scaling
Fil
PowerPoint 2007-presentation
Lecture 17: nano-CMOS and Moore
Fil
PDF-dokument
Old exam for you to see
Fil
PDF-dokument
Old exam too
Fil
PDF-dokument
Next section
►
Uppgifter