CHEM-E5115 - Microfabrication D, Lecture, 28.2.2023-2.6.2023

Osion kuvaus

• Lecture slides
  • Valitse aktiviteetti L1 intro

    

    L1 intro Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L2 lithography and etching

    

    L2 lithography and etching Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L3 Silicon

    

    L3 Silicon Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L4 Cleanroom and safety. Cleaning

    

    L4 Cleanroom and safety. Cleaning Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L5 Thin films

    

    L5 Thin films Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L6 oxidation

    

    L6 oxidation Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L8 Doping. Epitaxy

    

    L8 Doping. Epitaxy Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L9 Bonding. CMP

    

    L9 Bonding. CMP Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L10 Process integration

    

    L10 Process integration Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L11 Etching for MEMS

    

    L11 Etching for MEMS Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L12 CMOS

    

    L12 CMOS Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L13 MEMS in bulk and SOI wafers

    

    L13 MEMS in bulk and SOI wafers Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L14 surface MEMS

    

    L14 surface MEMS Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L14 alternative with audio clips

    

    L14 alternative with audio clips Tiedosto PPTX
  • Valitse aktiviteetti L15 Yield. Reliability

    

    L15 Yield. Reliability Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L16 Economics of microfabrication

    

    L16 Economics of microfabrication Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L17 scaling

    

    L17 scaling Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L18 Nano-CMOS and Moore law

    

    L18 Nano-CMOS and Moore law Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L extra Quick guide

    

    L extra Quick guide Tiedosto PDF
  • Valitse aktiviteetti L5 lab device

    

    L5 lab device Tiedosto PDF