CHEM-E5115 - Microfabrication D, Lecture, 28.2.2023-2.6.2023

Översikt

• Lecture slides
  • Välj aktivitet L1 intro

    

    L1 intro Fil PDF
  • Välj aktivitet L2 lithography and etching

    

    L2 lithography and etching Fil PDF
  • Välj aktivitet L3 Silicon

    

    L3 Silicon Fil PDF
  • Välj aktivitet L4 Cleanroom and safety. Cleaning

    

    L4 Cleanroom and safety. Cleaning Fil PDF
  • Välj aktivitet L5 Thin films

    

    L5 Thin films PDF
  • Välj aktivitet L6 oxidation

    

    L6 oxidation Fil PDF
  • Välj aktivitet L8 Doping. Epitaxy

    

    L8 Doping. Epitaxy Fil PDF
  • Välj aktivitet L9 Bonding. CMP

    

    L9 Bonding. CMP Fil PDF
  • Välj aktivitet L10 Process integration

    

    L10 Process integration Fil PDF
  • Välj aktivitet L11 Etching for MEMS

    

    L11 Etching for MEMS Fil PDF
  • Välj aktivitet L12 CMOS

    

    L12 CMOS Fil PDF
  • Välj aktivitet L13 MEMS in bulk and SOI wafers

    

    L13 MEMS in bulk and SOI wafers Fil PDF
  • Välj aktivitet L14 surface MEMS

    

    L14 surface MEMS Fil PDF
  • Välj aktivitet L14 alternative with audio clips

    

    L14 alternative with audio clips Fil PPTX
  • Välj aktivitet L15 Yield. Reliability

    

    L15 Yield. Reliability Fil PDF
  • Välj aktivitet L16 Economics of microfabrication

    

    L16 Economics of microfabrication Fil PDF
  • Välj aktivitet L17 scaling

    

    L17 scaling Fil PDF
  • Välj aktivitet L18 Nano-CMOS and Moore law

    

    L18 Nano-CMOS and Moore law Fil PDF
  • Välj aktivitet L extra Quick guide

    

    L extra Quick guide Fil PDF
  • Välj aktivitet L5 lab device

    

    L5 lab device Fil PDF